9月18日消息，、、竞价涨停，、涨超10%，、、、。等涨超5%。
消息面上，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
光刻机概念股集体高开 张江高科等竞价涨停
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9月18日消息，、、竞价涨停，、涨超10%，、、、。等涨超5%。
消息面上，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
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